Temptronic ThermoChuck
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產(chǎn)品名稱: Temptronic ThermoChuck
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商: inTEST ThermoStream
簡單介紹
美國 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系統(tǒng)利用導(dǎo)電加熱和冷卻系統(tǒng)，搭配晶圓探針臺(tái)共同使用，提供 -65 至 +300°C 高低溫環(huán)境，適用晶圓 150 mm、200 mm、300 mm ，可用于激光微調(diào) Laser Trim 和晶圓老化 Burn-in 測試，例如低泄漏探測(fA)和高電壓探測(10 kv)，適用于晶圓、芯片在電高低溫環(huán)境下的特性描述、失效分析等。
Temptronic ThermoChuck
的詳細(xì)介紹
一、晶圓尺寸：150 和 200 mm
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ThermoChuck 型號(hào)
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溫度范圍°C
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冷卻
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加熱
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TP03000A
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-65 to +200°C
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Mechanical refrigeration, closed loop
liquid cooling
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熱電
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TP03010A
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+20 to +200°C
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風(fēng)冷/水冷*
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熱電
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TP03010B
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0 to +200°C
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Closed loop glycol/water cooling
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熱電
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TP03015A
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+30 to +200°C (+300oC optional)
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風(fēng)冷/水冷*
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電阻
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TP03015B
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+30 to +200°C (+300°C optional)
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Closed loop glycol/水冷
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電阻
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電壓 115V或 220V
* 用戶提供冷卻介質(zhì)
二、晶圓尺寸：300 mm
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ThermoChuck 型號(hào)
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溫度范圍°C
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冷卻
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加熱
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TP03500A
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-55 to +200
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Mechanical refrigeration, closed loop
liquid cooling
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電阻
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TP03500D
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+20 to +200
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Open loop air cooling with Vortex*
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電阻
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TP03500E
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+30 to +200
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Open loop air cooling*
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電阻
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電壓 220V
* 用戶提供冷卻介質(zhì)