設備簡介
高性能無氧烘箱能夠在氧氣濃度低至100ppm的氣氛中，在250℃的溫度下進行熱處理。這使得該系列非常適合晶圓塑封干燥，銀膠固化，晶圓光刻的軟烤和硬烤等，以及各類抗氧化熱處理。無氧烘箱采用專有的腔室結構和密封技術，具有出色的氣密性和溫度均勻性，還確保了更高的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。同時采用由冷卻水循環(huán)的外部冷卻機構，可以在不影響爐內氣氛的情況下進行快速冷卻，www.fulltext.cn 從而縮短處理時間。適用于固化半導體晶圓干燥，IC封裝（銅基板，銀膠，硅膠，環(huán)氧樹脂），玻璃基板烘烤等。
產(chǎn)品特點
1、升溫速率可控，設定工藝曲線，一鍵運行；輔助降溫縮短降溫時間，提高生產(chǎn)效率；可達到低氧環(huán)境，固化效果更好。
2、箱內采用單向水平運風，兩側風道內強壓送風，風道兩側采用高密度沖孔風板，精確控制導流板角度，確保箱內溫度均勻性。
3、高精度溫度控制器，PID調節(jié)，控制精度0.1℃，可程式觸摸屏控制器，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。
4、減壓閥+雙流量計節(jié)氮系統(tǒng)，無氧、低氧環(huán)境下節(jié)省氮氣消耗量。
5、采用大功率耐高溫長軸馬達，大口徑不銹鋼渦輪扇葉，可在高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作。
6、烘箱內部為不銹鋼結構，箱內持續(xù)充氮，使烘箱工作室內處于低氧、潔凈狀態(tài)。
7、應用功能強大，老化、退火、測試、固化、干燥、溶劑、涂料和油漆固化、壓力緩解等。
選配組件
1、程序控溫：可配置程序型溫度控制器，實現(xiàn)多組程序控溫。
2、測溫功能：多點測溫查看及記錄功能。
3、風門調節(jié)：可加裝風量調節(jié)裝置，亦可實現(xiàn)風門開關程序控制。
4、溫度記錄儀：可配置多通道溫度記錄儀，打印機或RS485接口，用于連接打印機或PC設備，監(jiān)控記錄溫度變化狀況。
5、快速降溫系統(tǒng)：實現(xiàn)快速升降溫的功能。
規(guī)格參數(shù)
型號
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OVEN-373N
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工作穩(wěn)定溫度范圍
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常溫~250℃
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使用電壓
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三相五線380V，50Hz
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控溫精度
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±0.1℃
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加熱功率
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4.5KW*2
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溫度均勻性
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±2.5%℃
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風機功率
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370W*2
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溫度穩(wěn)定度
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±0.5℃
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極限含氧量
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＜100PPM
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降溫方式
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水冷降溫
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尺寸
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工作尺寸
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H（600*2）mm*W720mm*D600mm
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外觀尺寸
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H1805mm*W1340mm*D865mm
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箱體
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箱體外壁材料
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SS41#冷軋鋼板
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箱體內膽材料
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304#不銹鋼板
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保溫材料
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100K硅酸鋁棉，材料不可燃，隔熱性強；
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容積
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260L*2
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外箱涂裝材料
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外表面整體噴粉，烤漆處理，顏色為計算機白，表面不脫粉，不掉漆；
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移動腳輪
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箱體底部安裝4個帶剎車萬向輪，方便烤箱移動和固定；
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工作室
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工作室數(shù)量
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2 每個工作室可分2層，每個工作室可單獨設置調節(jié)溫度。
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內部配置
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配置4個不銹鋼鋼支層架，層架上包裹不銹鋼網(wǎng)孔板,層架間距可調節(jié)。
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加熱速率
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空載情況下從常溫升溫至175℃≤30分鐘，恒溫時間可控。
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降溫速率
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175℃降溫至80℃≤40分鐘
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選配
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含氧檢測儀，真空泵，HEPA高效過濾
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